我校微纳结构加工测试平台4台设备已安装调试完毕，将于2024年4月7日开始对外运行。欢迎有需求的校内师生、校外科研人员预约测试。
一、设备信息
1.双球差校正透射电子显微镜
仪器型号： themis z
性能指标： tem信息分辨率≤60 pm@300kv;
stem 分辨率≤60 pm@300kv
能谱仪 能量分辨率：≤136 ev (mn-ka)；
元素分析范围：b(5)–am(95)。
测试项目： 形貌表征：低倍tem；低倍stem;
结构分析：高分辨率tem，电子衍射，高分辨率stem；
成分分析：eds spectrum, 原子级eds mapping。
2.聚焦离子束显微镜
仪器型号：scios 2 hivac
性能指标：离子束种类：液态ga离子源;
交叉点分辨率：3.0 nm@30kv
加速电压：0.5kv-30kv；
流强度：0.6 pa-65 na
测试项目：高质量定点tem样品制备;
金属、半导体、多层膜结构等固体样品的加工和制备。
3.超快透射电子显微镜
仪器型号：talos f200i
性能指标：信息分辨率：≤0.12 nm;
线分辨率：≤0.1nm;
测试项目：形貌表征：低倍tem；低倍stem;
结构分析：高分辨率tem，电子衍射；
成分分析：eds spectrum, eds mapping；
超快功能暂未开放。
4.场发射扫描电子显微镜
仪器型号：apreo s hivac
性能指标: 分辨率：0.7 nm@15 kv;0.8 nm@1 kv（开减速模式）;
加速电压：0.2 kv-30 kv；
束流强度：1 pa-400 na
测试项目： 金属材料、陶瓷材料、高分子材料、纳米材料等固体样品的微观形貌、微区成分及晶体取向分析。
二、收费标准
双球差校正透射电子显微镜： 3000元/小时（校外）；1500元/小时（校内）；
聚焦离子束显微镜：2000元/小时（校外）； 1000元/小时（校内）；
超快透射电子显微镜：400元/样品（校外）；100元/样品（校内）；
场发射扫描电子显微镜：240元/样品（校外）；60元/样品（校内）。
三、运行方式
2024年4月8日-2024年7月13日（本学期末），平台试运行，试运行期间收费标准按正常收费标准的8折执行。试运行结束后恢复正常价格。
预约平台网址：；
测试地点：1号实验楼南楼一楼、负一楼；
测试咨询电话：
冯 柳，13589498883（双球差校正透射电子显微镜）
高 蔷，19811736698（聚焦离子束显微镜）
王晓文，13864302307（超快透射电子显微镜）
张旭良，15545956594（场发射扫描电子显微镜）
分析测试中心
2024年4月3日